電子行業(yè)中空氣過(guò)濾器的應(yīng)用及要求
大家對(duì)于air filter在各大行業(yè)都有的運(yùn)用,那么今天我們主要給大家介紹關(guān)于空氣過(guò)濾器在電子行業(yè)的應(yīng)用,希望通過(guò)我們的介紹,可以給大家?guī)?lái)一定的幫助。
電腦里每天進(jìn)入無(wú)數(shù)灰塵,但遺憾的是電腦沒(méi)有安裝過(guò)濾器,今后電腦里也安裝過(guò)濾器就好了。粘在集成電路上的灰塵可能會(huì)導(dǎo)致斷路和短路,灰塵直接影響壽命壓縮機(jī)附件產(chǎn)品的成品率。今天,半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的空氣清潔度高,對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也很嚴(yán)格。
測(cè)量芯片整合度的指標(biāo)之一是線寬,即電路上的線寬。在微米計(jì)算線寬的時(shí)代,制造環(huán)境對(duì)粉塵粒徑的限制小于線寬的1/10,隨著線寬的減小,1/10的說(shuō)法變成了1/4、1/2。2002年,普通微機(jī)中P4處理器的線寬縮小到0.13mm,此時(shí)任何粉塵都可能損壞電路,粒徑與線寬的傳統(tǒng)對(duì)比已經(jīng)過(guò)時(shí)。
無(wú)論是普通的高效過(guò)濾器還是FFU,在發(fā)貨前都要經(jīng)過(guò)掃描測(cè)試。國(guó)內(nèi)目前沒(méi)有掃描測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn),能擠進(jìn)芯片廠的過(guò)濾器制造商按歐美標(biāo)準(zhǔn)掃描過(guò)濾器測(cè)試。芯片廠的人認(rèn)為,過(guò)濾器傳統(tǒng)檢測(cè)方法用的試驗(yàn)粉塵本身就是污染源,所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的賬。
芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是大循環(huán),工廠的天花板整體充滿了高效的過(guò)濾器,整個(gè)地板都是回氣柵板。目前,芯片工廠的一些工廠使用帶風(fēng)扇的過(guò)濾裝置,即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都可以達(dá)到足夠的清潔度,但在運(yùn)行管理和能源消耗方面有所不同。
20世紀(jì)90年代初,國(guó)外對(duì)高效過(guò)濾器玻璃纖維過(guò)濾器含硼的問(wèn)題發(fā)生了爭(zhēng)吵,之后過(guò)濾器的微量揮發(fā)要素成為芯片工廠的關(guān)注。近年來(lái),聚四氟乙烯纖維的高效過(guò)濾材料出現(xiàn)在國(guó)外。這種材料沒(méi)有揮發(fā)物,但它是一種帶靜電的駐極體,隱患減少,麻煩增加。過(guò)濾后的空氣應(yīng)通過(guò)電中和控制空氣中的離子體。目前,該材料價(jià)格較高,大多數(shù)過(guò)濾器仍使用玻璃纖維過(guò)濾紙。過(guò)濾器可能的微量揮發(fā)要素主要來(lái)源于粘合劑和洗滌劑,為芯片制造商提供的過(guò)濾器制造商必須在這方面下功夫。
空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵,但空氣中的海鹽粉塵粒子大,通過(guò)過(guò)過(guò)濾器可以過(guò)濾。據(jù)說(shuō)從事電子工業(yè)的理想場(chǎng)所應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸,但是沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá),芯片工廠像蜂一樣建在沿海地區(qū),在過(guò)濾器上花更多的錢。
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