無塵室潔凈等級(jí)有哪些—無塵室各種潔凈級(jí)別的介紹
無塵室又稱潔凈室，是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講，一個(gè)無塵室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別，污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用較大顆粒大小來厘定的。別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物)，更在意的是無塵室中的灰塵。
無塵的定義為：將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即：這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為凈室。無塵室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi)，才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。
無塵室潔凈等級(jí)有哪些—無塵室各種潔凈級(jí)別的介紹
美國標(biāo)準(zhǔn)：
| 級(jí)別 | 0.1 μm | 0.2 μm | 0.3 μm | 0.5 μm | 1 μm | 5 μm |
| 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ； | ； |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | 1 | ； |
| 100 | 3500 | 750 | 300 | 100 | 10 | 1 |
| 1，000 | ； | ； | ； | 1，000 | 100 | 7 |
| 10，000 | ； | ； | ； | 10，000 | 1，000 | 100 |
| 100，000 | ； | ； | ； | 100，000 | 10，000 | 1，000 |
ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)：
| 級(jí)別 | 0.1 μm | 0.2 μm | 0.3 μm | 0.5 μm | 1 μm | 5 μm |
| ISO 1 | 10 | 2 | ； | ； | ； | ； |
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ； | ； |
| ISO 3 | 1，000 | 237 | 102 | 35 | 8 | ； |
| ISO 4 | 10，000 | 2，370 | 1，020 | 352 | 83 | ； |
| ISO 5 | 100，000 | 23，700 | 10，200 | 3，520 | 832 | 29 |
| ISO 6 | 1，000，000 | 237，000 | 102，000 | 35，200 | 8，320 | 293 |
| ISO 7 | ； | ； | ； | 352，000 | 83，200 | 2，930 |
| ISO 8 | ； | ； | ； | 3，520，000 | 832，000 | 29，300 |
| ISO 9 | ； | ； | ； | 35，200，000 | 8，320，000 | 293，000 |
無塵室標(biāo)準(zhǔn)比較表：
| ISO 14644-1 | 美國每立方呎顆粒數(shù) |
| ISO 3 | 1 |
| ISO 4 | 10 |
| ISO 5 | 100 |
| ISO 6 | 1，000 |
| ISO 7 | 10，000 |
| ISO 8 | 100，000 |